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ASML拒绝美要求禁止对华出售光刻机

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受美国对中国出口禁令的影响,口罩对准器巨头ASML (ASML)第三季度订单减少,其在阿姆斯特丹证券交易所的股价最近暴跌。彭博说,华府最近宣布多项芯片禁令,限制向中国出售先进半导体和芯片制造设备,禁止美国人帮助中国发展芯片技术,并试图拉拢包括ASML在内的欧洲公司共同制裁中国。美国消费者新闻与商业频道透露,美国正在游说荷兰政府禁止ASML向中国出售一些旧的口罩对准器,但该公司从未同意这一要求。面对美国的无理压力,ASML为何有信心对华府说不?

美国商务部负责出口管制的工业与安全局局长埃斯特韦斯27日表示,华盛顿正与盟友协商,试图共同采取措施,限制中国获得制造高端芯片的制造工具。华尔街日报说,由于美国的干预,ASML没有向中国交付任何EUV(极紫外)光刻机。2018年,SMIC从ASML订购了一台EUV掩模对准器,用于生产7纳米及以下的芯片,预计将于2019年交付。然而,这种光刻机从未交付,ASML透露,该公司从未获得相关的出口许可证。

ASML占全球光刻机60%以上的市场份额,是世界上唯一能为7 nm及以下芯片提供EUV光刻机的制造商。虽然EUV光刻机不能出口到中国,但中国已经成为ASML DUV(深紫外)光刻机最重要的市场之一。公开资料显示,DUV光刻机和EUV光刻机的主要区别在于光源的波长,决定了芯片的制造工艺。DUV光刻机目前还不能生产7 nm及以下工艺的芯片,但可以用来生产需求更大的成熟芯片。

根据ASML 2021财年的财报,中国大陆是ASML的第三大市场,占其2021年全球营业额的14.7%。2021年,中国大陆的出货量占其全球出货量的16%。ASML高级副总裁兼中国区总裁沈波近日透露,自1988年以来,ASML已在中国大陆安装了超过1000套全方位光刻解决方案,相应的员工数量也超过了1500人。

掌握全球高端芯片制造关键技术的ASML和荷兰政府一直是美国游说、拉拢和施压的重点对象。今年7月,彭博援引知情人士的话说,美国正在向荷兰政府施压,要求扩大目前对中国的出口限制,并禁止ASML向中国出口一些DUV光刻机。与此同时,知情人士表示,荷兰政府尚未同意对ASML对中国的出口实施任何额外限制,如果美国要求的措施得到实施,荷兰与中国的贸易关系可能会受到损害。

面对美国公布的一系列针对中国半导体行业的最新出口管制措施,ASML首席财务官达森表示,美国新规对光刻机出口的影响有限,因为ASML是欧洲公司,其机器中很少使用美国零部件。

与美国的长期“拉关系”和公开声明表明,ASML和世界上其他半导体企业一样,不想因为政治原因放弃在中国的巨大利益。沈博曾明确表示,“中国是全球半导体产业发展中非常重要的一部分。抛开非市场外部因素,从公司本身来看,我们对中国市场的投入和支持是非常坚定的”。

除了对公司利益的考虑,ASML还指出了中国市场对全球半导体供应链的重要性。ASML首席执行官彼得·文(Peter Wen)今年早些时候表示,“我认为有必要认识到,中国大陆是半导体行业的重要参与者,而中国大陆是全球市场上非常重要的供应商,无论是成熟的工艺还是主流的半导体工艺,因此我们必须谨慎行事”。

在因疫情一度出现“芯片荒”后,全球半导体正面临新的变化——需求疲软、产能过剩。《日本经济新闻》29日报道称,最新财报显示,英特尔等多家芯片行业巨头第三季度利润暴跌。27日,英特尔财报显示,净利润同比减少85%。报道称,半导体行业过去几年的繁荣似乎正在走向破灭,美国对中国芯片出口的新限制可能会加剧这种痛苦。有近三分之一市场来自中国的美国半导体设备制造商KLA在26日的财报会议上警告称,美国对中国芯片的禁令将使美国半导体行业在2023年陷入重挫。根据Gartner的最新预测,2022年全球半导体收入预计增长7.4%,低于2021年的26.3%。

台媒还报道称,全球最大的代工公司TSMC很可能在今年年底前关闭部分EUV光刻机。全球知名半导体存储厂商美光也宣布,将在2023财年削减约50%的设备投资,并开始采取措施减少供应。此外,韩国SK海力士也正式开始减产。

新谋研究首席分析师顾文军对《环球时报》记者表示,中国是全球最大的芯片市场和进口国,对半导体设备和材料的需求增长迅速。中国市场规模持续增加,在行业下行阶段市场地位更加重要。

美国媒体援引新美国安全中心高级研究员克尔凯郭尔的话说,“美国一直在与盟友讨论这些管控措施,但事实仍然是,实施的管控措施仍然是单边的、对外的。换句话说,我们还没有说服任何人。历史表明,我们的盟友通常不会对美国的海外(限制性)措施做出很好的回应”。

在半导体制造的设计、制造、封装、测试四大环节中,制造仍然是中国产业的短板,包括光刻机在内的一些关键设备仍然存在“卡脖子”的问题。

据中国电子专用设备行业协会和国际半导体行业协会统计,2021年,中国半导体设备销售额为187.2亿美元,同比增长39.2%,但中国半导体设备国产化率仅为20.2%。近年来,国内许多企业一直在光刻机领域进行攻关。据媒体报道,上海微电子公司已经可以实现90nm光刻机的商业化生产,正在继续向全球先进水平研发,但还需要一段时间。

顾文军告诉《环球时报》记者,美国对中国半导体产业的限制,从对中国半导体企业实施制裁,到限制外国半导体企业在中国发展。现在国际企业中有不同的声音。一方面看中国的政策反应,希望促进与中国的合作,甚至增加对华投资。有人在考虑减少在中国的投资,去美国。

在这种情况下,中国的工业更有必要保持开放。顾文军表示,国外厂商因为美国的禁令损害了他们的利益,他们有能力也有动力维护自己的利益。在这次制裁期间,一些欧洲公司一直在不断地与美国谈判。“我们希望鼓励来自荷兰、日本、韩国等地的制造商。以在困难时期更多地融入中国的半导体供应链”。

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