泛半导体设备制造商再拓“能力圈”：普达特科技宣布进军CVD设备-领酷资讯网

快速转型成为泛半导体设备制造商的普达特科技又开新“赛道”。

10月12日晚间，普达特科技发布公告称，正按计划开展CVD（化学气相沉积）设备业务，具体包括用于制造12吋芯片的多种先进热CVD设备。公司将在前期向该业务投放人民币1.4亿元，预期相关产品有望于2024年进入商业生产阶段。

公开信息显示，普达特科技是一家从事半导体及太阳能设备制造的公司，致力于为行业内厂商提供高生产力泛半导体制造设备。前期公司自研半导体清洗设备就已正式投产，并接连取得市场订单。此次开展CVD设备业务，也意味着普达特科技将进入除清洗以外的另一大半导体制造重大工艺、工序板块。

CVD设备蕴藏国产替代广阔空间

所谓化学气相沉积（CVD）是一种用于生产高质量、高性能固体材料的化学工艺，通常用于半导体工业生产薄膜，从半导体芯片制作前道工艺流程中的关键一环。

普达特科技此次也在公告中表示，热CVD设备应用于半导体设备制造业薄膜沉积过程中，在该过程采用的产品中，发挥着关键的作用。

根据市场研究机构资料，薄膜沉积设备占半导体设备总市场份额的18%，2021年全球规模逾170亿美元。随着芯片技术不断进步及芯片结构复杂化，薄膜沉积设备市场于2017年至2020年的复合年增长率达11.2%，预期将维持增长势头。其中，作为常用的薄膜沉积设备，CVD设备又占据薄膜沉积设备总市场份额的66%，约等于半导体设备总市场份额的10%，2021年全球市场规模已超过110亿美元。

“CVD设备是芯片制造薄膜沉积工艺的核心设备，全球市场主要由国外厂商垄断，国产替代需求强烈。”有行业内人士表示。招商证券也在研报中提出，薄膜沉积设备被海外AMAT、LAM、TEL、ASM等龙头垄断。同时，相较于清洗等其他设备，薄膜沉积市场空间更大，国内有望因此涌现出较大的成长空间。

普达特科技公告中引用的市场研究机构资料则显示，CVD设备于2020年的国产化率较低，但同时全球CVD设备市场准入门槛偏高，具有高度集中性，前三大市场参与者就占据了全球70%市场份额。

据此，普达特科技也认定CVD设备业务将为国产替代提供强大推动力，同时具有广阔的市场空间。按照计划，公司将在前期投入1.4亿元人民币，主要用于制造12吋芯片的多种先进热CVD设备，预期相关产品有望于2024年进入商业生产阶段。

涉足半导体设备制造两大关键领域

之所以有能力涉足CVD这一半导体制造重要板块，与普达特科技自身在清洗等其他泛半导体制造设备上的积累及成熟的研发团队密不可分。

清洗设备在半导体制造前道工艺流程中同样占据关键位置。从过往公告信息来看，2022年以来，普达特科技就接连公布了自研半导体清洗设备投产并获得市场订单的消息，向下游客户提供单片湿式处理设备以及设计及制造其他半导体清洗产品。

“普达特科技产品设计更具创新性，在生产力方面也更具竞争优势。”瑞信在与普达特科技沟通后出具的研报中表示，公司现有产品在尺寸、工艺性能、产能、吞吐量等方面都处于业内领先地位。如公司Cube系列半导体清洗设备吞吐量就基本可以达到行业同类产品的两倍；Octopus系列半导体清洗设备吞吐量较同类产品高出17-25%。

瑞信还在研报中透露，普达特科技正于多家半导体生产厂商接触，潜在客户涵盖自主创新型国内企业、上下游供应链企业、国内头部CIS制造商等多个客群。

在研发人员方面，普达特科技现任CEO刘二壮博士在半导体制造领域拥有30年的丰富经验，曾任LAM集团副总裁兼中国区总经理。除此以外，普达特科技50%以上的管理团队还拥有在泛林集团或迪恩士等半导体业界前5公司工作经验，公司已投产的半导体清洗设备均出自上述自研团队之手。

值得一提的是，就在今年上半年，普达特科技收购了国际太阳能设备制造一线企业RENA旗下两家子公司，快速进入太阳能设备制造行业。在进军CVD设备制造领域后，公司半导体及太阳能制造业务更有望形成协同，实现技术互通。